La Sala Blanca de Micro y Nanofabricación del IMB-CNM celebra más de 30 años de actividad

17 de enero de 2022 Noticias

La Sala Blanca Integrada de Micro y Nanofabricación del Instituto de Microelectrónica de Barcelona (Campus UAB, Cerdanyola del Vallès) ha cumplido 30 años desde su apertura en 1991. Reconocida como una Infraestructura Científica y Técnica Singular (ICTS) por el Ministerio de Ciencia e Innovación e integrada en la red MICRONANOFABS, cuenta con 1.500 metros cuadrados de superficie dedicados al desarrollo y aplicación de tecnologías innovadoras en el campo de la Microelectrónica. Se trata de una gran instalación con características únicas en el sur de Europa.

La sala es un espacio de acceso abierto que ayuda a los grupos de investigación nacionales e internacionales a realizar actividades de I+D+i, con más de 150 equipos para procesos de micro y nanofabricación basados principalmente en tecnologías de silicio. Se trabaja en obleas de 100 mm y 150 mm, aunque también pueden funcionar con sustratos de diferentes materiales y tamaños según la demanda. Cuenta con áreas de Nanolitografía, Procesos térmicos y CVD, Grabado seco o Implantación iónica, entre otras.

El rango de aplicaciones que se pueden cubrir en la instalación es muy amplio e incluye las biomédicas, el medio ambiente, la alimentación, la energía y la movilidad, la seguridad, las comunicaciones y la electrónica de consumo, etc.

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